一、个人简介
张友宝,男,1980年9月出生,汉族,籍贯:山东省临邑县,博士,中国科学院上海光学精密机械研究所高级工程师。
二、主要学习与工作经历
主要学习经历:
2003年于哈尔滨理工大学获应用物理学士学位;
2006年于哈尔滨理工大学获光学工程硕士学位;
2020年于中国科学院上海光学精密机械研究所获光学工程博士学位;
2006年-至今于中国科学院上海光学精密机械研究所工作。
三、代表性科研成果
在02专项中负责高端光刻机照明控制系统研发;获由02专项光刻机工程指挥部颁发的“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”科技重大专项(02专项)“28nm浸没光刻机照明分系统电控总设计师”聘书;近5年在国外重要期刊发表论文2篇,均被SCI收录;作为第一发明人授权发明专利1项;作为第一作者登记软件著作权1项。
四、主要社会学术团体兼职
无。
五、主要研究方向
高端光刻机控制系统,精密运动控制,精密光电检测,机器视觉及图像处理和分析,人工智能和CAD技术。
六、在研项目
1、中国科学院先导A类激光等离子体专项“能量稳定控制系统”课题,2023-2027,课题负责人。
2、中国科学院先导A类激光等离子体专项“激光追踪液滴”课题,2023-2027,课题骨干。
七、联系方式
邮件地址:zhangyoubao@siom.ac.cn,18017122766